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Published in: Semiconductors 5/2006

01-05-2006 | Semiconductor Structures, Interfaces, and Surfaces

Transformation of electrically active defects as a result of annealing of silicon implanted with high-energy ions

Authors: I. V. Antonova, S. S. Shaĭmeev, S. A. Smagulova

Published in: Semiconductors | Issue 5/2006

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Metadata
Title
Transformation of electrically active defects as a result of annealing of silicon implanted with high-energy ions
Authors
I. V. Antonova
S. S. Shaĭmeev
S. A. Smagulova
Publication date
01-05-2006
Publisher
Nauka/Interperiodica
Published in
Semiconductors / Issue 5/2006
Print ISSN: 1063-7826
Electronic ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S106378260605006X

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