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1997 | OriginalPaper | Chapter
Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte
Authors : Max Wutz, Dr. phil. Hermann Adam, Prof. Dr.-Ing. Dr. rer. nat. h.c. Wilhelm Walcher
Published in: Handbuch Vakuumtechnik
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
Included in: Professional Book Archive
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Man unterscheidet Vakuummeßgeräte zum Messen des Totaldrucks (Abschnitt 11.2 bis 11.5) und solche zum Messen der Partialdrücke in Gasgemischen (Abschnitt 11.6). Aus der großen Vielfalt der Arten sind in Kapitel 11 nur die praktisch wichtigsten behandelt; ergänzend wird auf die zusammenfassenden Berichte [63, 68, 69, 70, 71, 72, 73, 74, 75, 75a, 76] hingewiesen. Die Lecksuchgeräte in Abschnitt 11.7 sind massenspektrometrische Partialdruckmeßgeräte. Sie werden daher in Kap. 11 behandelt, während die Lecksuchverfahren Kapitel 12 vorbehalten sind.