Fabrication of microchannels in negative resist | springerprofessional.de

Springer Professional

Top

Microsystem Technologies

Published in:

01-09-2003

Fabrication of microchannels in negative resist

Authors: G. Liu, Y. Tian, X. Zhang

Published in: Microsystem Technologies | Issue 6-7/2003

Log in

Activate our intelligent search to find suitable subject content or patents.

search-config

AI-assisted search

Off

Advertisement

previous article Design of flexural pivot for use in hard disc drive actuator

next article Dynamic finite element analysis of a micro lobe pump

Dont have a licence yet? Then find out more about our products and how to get one now:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

über 102.000 Bücher
über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

Automobil + Motoren
Bauwesen + Immobilien
Business IT + Informatik
Elektrotechnik + Elektronik
Energie + Nachhaltigkeit
Finance + Banking
Management + Führung
Marketing + Vertrieb
Maschinenbau + Werkstoffe
Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

inform now

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

über 67.000 Bücher
über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

Automobil + Motoren
Bauwesen + Immobilien
Business IT + Informatik
Elektrotechnik + Elektronik
Energie + Nachhaltigkeit
Maschinenbau + Werkstoffe

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

inform now

Title: Fabrication of microchannels in negative resist
Authors: G. Liu
Y. Tian
X. Zhang
Publication date: 01-09-2003
Publisher: Springer-Verlag
Published in: Microsystem Technologies / Issue 6-7/2003
Print ISSN: 0946-7076
Electronic ISSN: 1432-1858
DOI: https://doi.org/10.1007/s00542-002-0258-7