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Published in: Journal of Electronic Materials 8/2004

01-08-2004 | Regular Issue Paper

GaAs-based metal-oxide semiconductor field-effect transistors with Al2O3 gate dielectrics grown by atomic layer deposition

Authors: P. D. Ye, G. D. Wilk, B. Yang, J. Kwo, H. -J. L. Gossmann, M. Frei, J. P. Mannaerts, M. Sergent, M. Hong, K. K. Ng, J. Bude

Published in: Journal of Electronic Materials | Issue 8/2004

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Metadata
Title
GaAs-based metal-oxide semiconductor field-effect transistors with Al2O3 gate dielectrics grown by atomic layer deposition
Authors
P. D. Ye
G. D. Wilk
B. Yang
J. Kwo
H. -J. L. Gossmann
M. Frei
J. P. Mannaerts
M. Sergent
M. Hong
K. K. Ng
J. Bude
Publication date
01-08-2004
Publisher
Springer-Verlag
Published in
Journal of Electronic Materials / Issue 8/2004
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-004-0220-9

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