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Published in: Journal of Electronic Materials 8/2004

01-08-2004 | Regular Issue Paper

Impurities in hydride gases part 2: Investigation of trace CO2 in the liquid and vapor phases of ultra-pure ammonia

Authors: Hans H. Funke, Jon Welchhans, Tadaharu Watanabe, Robert Torres, Virginia H. Houlding, Mark W. Raynor

Published in: Journal of Electronic Materials | Issue 8/2004

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Metadata
Title
Impurities in hydride gases part 2: Investigation of trace CO2 in the liquid and vapor phases of ultra-pure ammonia
Authors
Hans H. Funke
Jon Welchhans
Tadaharu Watanabe
Robert Torres
Virginia H. Houlding
Mark W. Raynor
Publication date
01-08-2004
Publisher
Springer-Verlag
Published in
Journal of Electronic Materials / Issue 8/2004
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-004-0214-7

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