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2016 | OriginalPaper | Chapter

11. Mikro-Nano-Integration

Author : Stephanus Büttgenbach

Published in: Mikrosystemtechnik

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

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Auszug

Der Begriff Mikro‐Nano‐Integration beschreibt die Integration von Objekten der Nanotechnologie in Mikrosysteme. Damit entsteht die Möglichkeit, neue innovative Produkte zu entwickeln. Es existiert eine Vielzahl von Definitionen für den Begriff Nanotechnologie, bei denen sich drei wichtige Aspekte abzeichnen:
  • Nanotechnologie befasst sich mit Materialien, die in einer oder mehreren Dimensionen Strukturen kleiner als 100 nm aufweisen (1 nm = 10−3␗µm = 10−9 m). Nanoskalige Basisstrukturen sind zum Beispiel Nanopartikel (drei Dimensionen im Nanomaßstab), Nanodrähte, ‐röhrchen und ‐stäbchen (zwei Dimensionen im Nanomaßstab) und Nanoschichten und ‐plättchen (eine Dimension im Nanomaßstab). Nanokomposite, nanokristalline Materialien und Agglomerate (lose gebundene Partikel) sowie Aggregate (stark gebundene Partikel) sind Beispiele für komplexe Nanoobjekte.
  • Nanotechnologie beruht auf neuen größenabhängigen Funktionen, die keine Äquivalente in der makroskopischen Welt haben. Demgegenüber stehen Eigenschaften, die bei makroskopischen Objekten vorhanden sind und sich in den Nanometerbereich fortsetzen.
  • Nanotechnologie stellt Verfahren bereit, um Nanostrukturen gezielt herzustellen und zu handhaben.
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Metadata
Title
Mikro-Nano-Integration
Author
Stephanus Büttgenbach
Copyright Year
2016
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Book
Mikrosystemtechnik

Print ISBN: 978-3-662-49772-2

Electronic ISBN: 978-3-662-49773-9

Copyright Year: 2016

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9_11

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