Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

Author: Stephanus Büttgenbach

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

Book Series : Technik im Fokus

Part of: Springer Professional "Wirtschaft+Technik" , Springer Professional "Technik"

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Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

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Title: Mikrosystemtechnik
Author: Stephanus Büttgenbach
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Electronic ISBN: 978-3-662-49773-9
Print ISBN: 978-3-662-49772-2
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9

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Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

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Table of Contents

Frontmatter

1. Einleitung

2. Transistoren und Siliziumtechnologie

3. Der piezoresistive Effekt

4. Volumenmikromechanik

5. LIGA-Verfahren

6. Oberflächenmikromechanik

7. Reaktives Ionentiefenätzen

8. Softlithografie

9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore

10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung

11. Mikro-Nano-Integration

12. Ausblick

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