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Published in:

01-03-2011

The Influence of Film Thickness on the Transparency and Conductivity of Al-Doped ZnO Thin Films Fabricated by Ion-Beam Sputtering

Authors: Guang-Xing Liang, Ping Fan, Xing-Min Cai, Dong-Ping Zhang, Zhuang-Hao Zheng

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Title: The Influence of Film Thickness on the Transparency and Conductivity of Al-Doped ZnO Thin Films Fabricated by Ion-Beam Sputtering
Authors: Guang-Xing Liang
Ping Fan
Xing-Min Cai
Dong-Ping Zhang
Zhuang-Hao Zheng
Publication date: 01-03-2011
Publisher: Springer US
Published in: Journal of Electronic Materials / Issue 3/2011
Print ISSN: 0361-5235
Electronic ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-010-1503-y