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2023 | OriginalPaper | Buchkapitel

5. Beschichtungsmethoden

verfasst von : Hartmut Frey, Engelbert Westkämper, Bernd Hintze

Erschienen in: Handbuch energiesparende Halbleiterbauelemente – Hochintegrierte Chips

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden

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Zusammenfassung

Die Methoden zur Erzeugung dünner Schichten,, wie sie innerhalb der Halbleitertechnik verwendet werden, zeigt Abb. 5.1.

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Metadaten
Titel
Beschichtungsmethoden
verfasst von
Hartmut Frey
Engelbert Westkämper
Bernd Hintze
Copyright-Jahr
2023
Buch
Handbuch energiesparende Halbleiterbauelemente – Hochintegrierte Chips

Print ISBN: 978-3-658-39345-8

Electronic ISBN: 978-3-658-39346-5

Copyright-Jahr: 2023

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-658-39346-5_5

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