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Tribology Letters
Erschienen in: Tribology Letters 2/2011

01.05.2011 | Original Paper

Air Vortices and Nano-Vibration of Aerostatic Bearings

verfasst von: Xuedong Chen, Han Chen, Xin Luo, Yixi Ye, Yuantai Hu, Jiaqiang Xu

Erschienen in: Tribology Letters | Ausgabe 2/2011

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Abstract

Small vibration on the order of nanometers poses challenges for the application of aerostatic bearings in ultra-precision machine tools and metrology equipments. In this article, the flow field in aerostatic bearings is numerically investigated and air vortices in the recess are analyzed. Vibration of the aerostatic bearing is also experimentally measured. Design and functioning parameters are varied to study their effects on the air vortices and nano-vibration of aerostatic bearings, and a direct relationship is established between the gas vortices and nano-vibration in aerostatic bearings. It is demonstrated that vibration energy of the aerostatic bearing increases with the strength of air vortices.
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Metadaten
Titel
Air Vortices and Nano-Vibration of Aerostatic Bearings
verfasst von
Xuedong Chen
Han Chen
Xin Luo
Yixi Ye
Yuantai Hu
Jiaqiang Xu
Publikationsdatum
01.05.2011
Verlag
Springer US
Erschienen in
Tribology Letters / Ausgabe 2/2011
Print ISSN: 1023-8883
Elektronische ISSN: 1573-2711
DOI
https://doi.org/10.1007/s11249-011-9761-2

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