2023 | OriginalPaper | Buchkapitel
An All-Silicon Comb-Tooth Capacitive MEMS Accelerometer
verfasst von : Haobin Niu, Guoliang Sun, Shuaimin Wang, Fangyuan Zhang
Erschienen in: The Proceedings of the 2021 Asia-Pacific International Symposium on Aerospace Technology (APISAT 2021), Volume 2
Verlag: Springer Nature Singapore
Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by