01.04.2006
An integrated sensor for pressure, temperature, and relative humidity based on MEMS technology
Erschienen in: Journal of Mechanical Science and Technology | Ausgabe 4/2006
EinloggenAktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.
Wählen Sie Textabschnitte aus um mit Künstlicher Intelligenz passenden Patente zu finden. powered by
Markieren Sie Textabschnitte, um KI-gestützt weitere passende Inhalte zu finden. powered by