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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 12/2020

10.10.2020

Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering

verfasst von: Atsuo Katagiri, Mutsuo Uehara, Mao Kurokawa, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 12/2020

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Metadaten
Titel
Composition Dependence of Crystal Structures and Electrical Properties of Ca-Mg-Si Films Prepared by Sputtering
verfasst von
Atsuo Katagiri
Mutsuo Uehara
Mao Kurokawa
Kensuke Akiyama
Takao Shimizu
Masaaki Matsushima
Hiroshi Uchida
Yoshisato Kimura
Hiroshi Funakubo
Publikationsdatum
10.10.2020
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 12/2020
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-020-08510-2

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