2021 | OriginalPaper | Buchkapitel
Computer Simulation of Abnormal Glow Discharge in an Inverse Magnetron Sputtering System with Axial Plasma Flows
verfasst von : Denis Sliusar, Oleksii Isakov, Volodymyr Kolesnyk, Oleg Chugai, Leonid Litovchenko, Mikola Stepanushkin
Erschienen in: Integrated Computer Technologies in Mechanical Engineering - 2020
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