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Erschienen in:
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2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

Development of a Low Cost Planar Micro Thermoelectric Generator

verfasst von : S. Pelegrini, A. Adami, C. Collini, P. Conci, L. Lorenzelli, A. A. Pasa

Erschienen in: Sensors and Microsystems

Verlag: Springer International Publishing

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Abstract

This work reports the development of a micro thermoelectric generator based on planar technology using electrochemical deposited process with constantan and copper thermocouples on a micromachined silicon substrate. This configuration was selected because it can be manufactured into large area, flexible substrates, and the selected materials can be deposited with low-cost process. Efficiency of the module was investigated in different working condition, showing a maximum generated potential of 118 V/cm2 and a power of 1.1 μW/cm2. Constantan alloy electrodeposited at different deposition potential was characterized by Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX) and Scattering Electronic Spectroscopy (SEM) to observe the morphology and composition of the films.

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Metadaten
Titel
Development of a Low Cost Planar Micro Thermoelectric Generator
verfasst von
S. Pelegrini
A. Adami
C. Collini
P. Conci
L. Lorenzelli
A. A. Pasa
Copyright-Jahr
2014
Buch
Sensors and Microsystems

Print ISBN: 978-3-319-00683-3

Electronic ISBN: 978-3-319-00684-0

Copyright-Jahr: 2014

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-319-00684-0_51

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