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Metals and Materials International
Erschienen in: Metals and Materials International 6/2002

01.11.2002

Dielectric properties of Ta2O5 thin films deposited onto Ti and TiO2 layer

verfasst von: In Sung Kim, Soon Jong Jeong, Jae Sung Song, Pan Seok Shin

Erschienen in: Metals and Materials International | Ausgabe 6/2002

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Metadaten
Titel
Dielectric properties of Ta2O5 thin films deposited onto Ti and TiO2 layer
verfasst von
In Sung Kim
Soon Jong Jeong
Jae Sung Song
Pan Seok Shin
Publikationsdatum
01.11.2002
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Metals and Materials International / Ausgabe 6/2002
Print ISSN: 1598-9623
Elektronische ISSN: 2005-4149
DOI
https://doi.org/10.1007/BF03178260

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