Skip to main content
Fachgebiete
Automobil + Motoren Bauwesen + Immobilien Business IT + Informatik Elektrotechnik + Elektronik Energie + Nachhaltigkeit Finance + Banking Management + Führung Marketing + Vertrieb Maschinenbau + Werkstoffe Versicherung + Risiko
DE
EN
Bücher
Zeitschriften
Themenseiten
Organisationspsychologie Projektmanagement Marketing Smart Manufacturing
Weitere Formate
Podcasts Webinare Technik Webinare Wirtschaft Kongresse Veranstaltungskalender Awards
Jetzt Einzelzugang starten
Zugang für Unternehmen
Referenzkunden
SLX-Digitalkonferenz: Zukunftswerkstatt 2024

Mehr Umsatz mit Top-Kontakten

Am 7. Mai erfahren Sie, wie Vertriebsteams Leadgenerierung, Leadnurturing und Leadstrategien effizient steuern können.
Erweiterte Suche
Anmelden
nach oben
Erschienen in:
Acoustic Microscopy Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

11. Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry

verfasst von : Mitsuhiro Tomita

Erschienen in: Compendium of Surface and Interface Analysis

Verlag: Springer Singapore

Einloggen

Aktivieren Sie unsere intelligente Suche, um passende Fachinhalte oder Patente zu finden.

search-config
loading …

Abstract

Ion beam bombardment with energy of less than a few tens of kiloelectron volts (primary ion bombardment) onto the sample surface causes sputtering phenomena following cascade mixing in the near-surface of the sample.

Sie haben noch keine Lizenz? Dann Informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 102.000 Bücher
  • über 537 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 67.000 Bücher
  • über 390 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Nachhaltigkeit
  • Maschinenbau + Werkstoffe




 

Jetzt Wissensvorsprung sichern!

Jetzt informieren
Vorheriges Kapitel Differential Interference Contrast Microscopy/Phase-Contrast Microscopy
Nächstes Kapitel Elastic Recoil Detection Analysis
Literatur
1.
Wittmaack, K.: Artifacts in low-energy depth profiling using oxygen primary ion beams: dependence on impact angle and oxygen flooding conditions. J. Vac. Sci. Technol., B 16, 2776–2785 (1998)CrossRef
2.
Jiang, Z.X., Lerma, J., Sieloff, D., Lee, J.J., Backer, S., Bagchi, S., Conner, J.: Ultrahigh resolution secondary ion mass spectrometry profiling with oblique O2+ beams below 200 eV. J. Vac. Sci. Technol., B 22, 630–635 (2004)CrossRef
3.
Surface chemical analysis—secondary-ion mass spectrometry—method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials. ISO 23812 (2009)
4.
Tomita, M., Hongo, C., Suzuki, M., Takenaka, M., Murakoshi, A.: Ultra-shallow depth profiling with secondary ion mass spectrometry. J. Vac. Sci. Technol., B 22, 317–322 (2004)CrossRef
5.
Surface chemical analysis—secondary-ion mass spectrometry—determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials. ISO 18114 (2003)
Metadaten
Titel
Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry
verfasst von
Mitsuhiro Tomita
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
Buch
Compendium of Surface and Interface Analysis

Print ISBN: 978-981-10-6155-4

Electronic ISBN: 978-981-10-6156-1

Copyright-Jahr: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_11

Premium Partner

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen. 

    Zur Marktübersicht
    Bildnachweise