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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 9/2020

09.07.2020

Effect of Substrate and Annealing Ambient on the Conductivity of Sputtered MoSi2 Ceramic Thin Film

verfasst von: Bassam Mohammed, Murat Kaleli

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 9/2020

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Metadaten
Titel
Effect of Substrate and Annealing Ambient on the Conductivity of Sputtered MoSi2 Ceramic Thin Film
verfasst von
Bassam Mohammed
Murat Kaleli
Publikationsdatum
09.07.2020
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 9/2020
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-020-08282-9

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