Einleitung

Elektrische Bauelemente sind so alt wie die technische Anwendung der Elektrizität. Das erste in großem Umfang verwendete Bauelement dürfte das Relais sein, das etwa zur Mitte des vorigen Jahrhunderts der Telegraphentechnik zum Durchbruch verhalf. Ferdinand Braun demonstrierte 1874 mit dem Kristallgleichrichter das erste elektronische Halbleiterbauelement, jedoch ohne die Funktion richtig zu erklären. Die ab etwa 1900 einsetzende Entwicklung der Elektronenröhre — des Vorläufers der heutigen Halbleiterbauelemente — bestimmte bis ungefähr 1950 die Entwicklung der Elektronik, so daß die ersten Ansätze zur Weiterentwicklung der Halbleiterbauelemente, wie z.B. der 1925 von Lilienfeld beschriebene Vorläufer des Feldeffekttransistors, nicht in nennenswertem Umfang zum Tragen kamen. Mit der Erfindung des bipolaren Transistors im Jahre 1947 durch Shockley und andere fanden die Halbleiterbauelemente, zunächst langsam, ihren Platz in der Technik. Diese Entwicklung verlief auch deshalb langsam, weil die ersten Transistoren, genau wie die Röhren, einzeln von Hand gefertigt wurden. Mit der Einführung der Planartechnik durch Noyce in der Firma Fairchild ab 1959 setzte die Entwicklung ein, die zum heutigen Stand geführt hat. Die Planartechnik ist besonders für den Halbleiterwerkstoff Silizium geeignet und ermöglicht sowohl die Massenfertigung von Halbleiterbauelementen hoher Qualität als auch die Entwicklung von monolithisch integrierten Schaltungen.