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Measurement Techniques
Erschienen in: Measurement Techniques 9/2015

01.12.2015 | NANOMETROLOGY

Electron Probe Measurements of Oxide Film Thickness on Silicon Surfaces

verfasst von: V. P. Gavrilenko, A. Yu. Kuzin, V. B. Mityukhlyaev, M. A. Stepovich, P. A. Todua, M. N. Filippov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 9/2015

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Abstract

An electron probe method for measuring the thickness of oxide films on silicon surfaces is proposed. The measurement range, lateral resolution, and measurement errors are estimated.
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Literatur
1.
V. A. Shvets, E. V. Spesivtsev, S. V. Rykhlitskii, and N. N. Mikhailov, “Ellipsometry – a precision method for monitoring thin-film structures with subnanometer resolution,” Ross. Nanotekhnol., 4, No. 3–4, 72–84 (2009).
2.
V. P. Gavrilenko, A. A. Kuzin, A. Yu. Kuzin, et al., “Measurement of the thickness of oxide on a relief stepped structure on a single-crystal silicon substrate,” Mikroelektronika, 42, No. 2, 131–133 (2013).
3.
J. Philibert and R. Tixier, “Electron probe microanalysis of transmission electron microscope specimens,” in: B. Siegel and D. R. Beaman (eds.), Physical Aspects of Electron Microscopy and Microbeam Analysis, Wiley, N. Y. (1975), pp. 333–354.
4.
M. A. Blokhin and I. G. Shveitser, x-Ray Spectral Handbook, Nauka, Moscow (1982).
5.
H. Bethe, “Zur Theorie des Durchgangs schneller Korpuskularstrahlen durch Materie,” Annalen der Physik, 397, No. 3, 325–400 (1930).CrossRefADS
6.
K. Kanaya and S. Okayama, “Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets,” J. Phys. D: Appl. Phys., 5, 43–58 (1972).CrossRefADS
7.
P. Echlin, C. E. Fiori, J. Goldstein, et al., Advanced Scanning Electron Microscopy and x-Ray Microanalysis, Springer Science and Business Media, N. Y. (2013).
8.
E. I. Rau, S. A. Ditsman, S. V. Zaitsev, et al., “Analysis of formulas for calculating the basic characteristics of reflected electrons and comparison with experimental data,” Izv. RAN. Ser. Fizich., 77, No. 8, 1050–1058 (2013).
9.
W. Reuter, “The ionization function and its application to the electron probe analysis of thin films,” Proc. 6th Int. Congr. on x-Ray Optics and Microanalysis, Tokyo (1972), pp. 121–130.
10.
L. Reimer, Scanning Electron Microscopy. Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer, Berlin, N. Y., Heidelberg (1998).CrossRef
Metadaten
Titel
Electron Probe Measurements of Oxide Film Thickness on Silicon Surfaces
verfasst von
V. P. Gavrilenko
A. Yu. Kuzin
V. B. Mityukhlyaev
M. A. Stepovich
P. A. Todua
M. N. Filippov
Publikationsdatum
01.12.2015
Verlag
Springer US
Erschienen in
Measurement Techniques / Ausgabe 9/2015
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI
https://doi.org/10.1007/s11018-015-0824-x

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