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Chinese Journal of Mechanical Engineering

Erschienen in:

01.01.2013

Fractal characteristics and microstructure evolution of magnetron sputtering Cu thin films

verfasst von: Shiwen Du, Yongtang Li

Erschienen in: Chinese Journal of Mechanical Engineering | Ausgabe 1/2013

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Titel: Fractal characteristics and microstructure evolution of magnetron sputtering Cu thin films
verfasst von: Shiwen Du
Yongtang Li
Publikationsdatum: 01.01.2013
Verlag: Chinese Mechanical Engineering Society
Erschienen in: Chinese Journal of Mechanical Engineering / Ausgabe 1/2013
Print ISSN: 1000-9345
Elektronische ISSN: 2192-8258
DOI: https://doi.org/10.3901/CJME.2013.01.137

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