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Erschienen in:
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2011 | OriginalPaper | Buchkapitel

1. Introduction: Reliability of MEMS

verfasst von : Allyson L. Hartzell, Mark G. da Silva, Herbert R. Shea

Erschienen in: MEMS Reliability

Verlag: Springer US

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Abstract

The development of Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) and introduction of MEMS enabled products in the market have made amazing strides in the last two decades; fulfilling a vision of “cheap complex devices of great reliability”. MEMS are integrated micro-scale systems combining electrical, mechanical or other (magnetic, fluidic/thermal/etc.) elements typically fabricated using conventional semiconductor batch processing techniques that range in size from several nanometers to microns or even millimeters [1]. These systems are designed to interact with the external environment either in a sensing or actuation mode to generate state information or control it at a different scale.

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Fußnoten
1
“The world has arrived at an age of cheap complex devices of great reliability, and something is bound to come of it” – Dr. V. Bush (1945) [2].
 
2
Databeans estimate.
 
Literatur
1.
Senturia, S.D. (2001) Microsystem Design. Dordrecht: Kluwer.
2.
3.
Bralla, J.G. (1998) Design For Excellence. London, UK: McGraw-Hill Book Co.
4.
da Silva, M.G., Giasolli, R., Cunningham, S., DeRoo, D. (2002) MEMS design for manufacturability. Sensors Expo. Boston.
5.
ASME (2003) Course 469: MEMS Reliability Short Course. New York: ASME.
6.
(2003). INTEGRRAM Metal-Nitride Prototyping Kit – Design Handbook, Metal-Nitride Surface Micromachining. QinetiQ Ltd. & Coventor Sarl.
Metadaten
Titel
Introduction: Reliability of MEMS
verfasst von
Allyson L. Hartzell
Mark G. da Silva
Herbert R. Shea
Copyright-Jahr
2011
Verlag
Springer US
Buch
MEMS Reliability

Print ISBN: 978-1-4419-6017-7

Electronic ISBN: 978-1-4419-6018-4

Copyright-Jahr: 2011

DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4419-6018-4_1

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