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Erschienen in:
2018 | OriginalPaper | Buchkapitel
Halbleitertechnologie
verfasst von : Frank Thuselt
Erschienen in: Physik der Halbleiterbauelemente
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
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Nachdem wir jetzt die physikalischen Prinzipien kennengelernt haben, die Halbleiterbauelementen zu Grunde liegen, ist es an der Zeit, dass wir uns auch mit den Herstellungsprozessen vertraut machen. Die möglichen Technologien setzen einen Rahmen für das, was aus Halbleitern machbar ist. Hierbei wird auch deutlich, dass die in den vorigen Kapiteln benutzten Modelle nützlich, aber nicht immer realistisch sind. So wird bei der Darstellung der Dotiertechnologien klar werden, dass homogene Dotierungen nur schwer zu erzielen sind und statt dessen in der Regel Dotierungsgradienten erzielt werden.