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1980 | OriginalPaper | Buchkapitel

Methoden der Oberflächenanalyse

verfasst von : Dr. Siegfried Hofmann

Erschienen in: Analytiker-Taschenbuch

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Enthalten in: Professional Book Archive

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Oberflächenanalytische Methoden dienen zur Charakterisierung der äußersten Atomlagen eines Festkörpers im nm-Dickenbereich sowie zur Analyse der Tiefenverteilung der Zusammensetzung dünner Schichten (1 nm bis 1 µm). Dabei gelten folgende Forderungen: 1.Informationstiefe im Monolagenbereich2.Nachweis möglichst aller Elemente a) quantitativ, b) mit hoher Nachweisstärke, c) unter vernachlässigbarem gegenseitigen Einfluß3.praktikable experimentelle Bedingungen

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Metadaten
Titel
Methoden der Oberflächenanalyse
verfasst von
Dr. Siegfried Hofmann
Copyright-Jahr
1980
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Analytiker-Taschenbuch

Print ISBN: 978-3-642-67401-3

Electronic ISBN: 978-3-642-67400-6

Copyright-Jahr: 1980

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-67400-6_12

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