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3D Research
Erschienen in: 3D Research 4/2015

01.12.2015 | 3DR Express

On Prognosis of Epitaxy from Gas Phase Process to Improve Properties of Epitaxial Layers

verfasst von: E. L. Pankratov, E. A. Bulaeva

Erschienen in: 3D Research | Ausgabe 4/2015

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Abstract

In this paper we analyzed mass and heat transport in a reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.
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Metadaten
Titel
On Prognosis of Epitaxy from Gas Phase Process to Improve Properties of Epitaxial Layers
verfasst von
E. L. Pankratov
E. A. Bulaeva
Publikationsdatum
01.12.2015
Verlag
3D Display Research Center
Erschienen in
3D Research / Ausgabe 4/2015
Elektronische ISSN: 2092-6731
DOI
https://doi.org/10.1007/s13319-015-0073-4

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