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Measurement Techniques
Erschienen in: Measurement Techniques 2/2017

29.06.2017

Piezoactuators and Piezomotors with Nano- and Micro-Dimensional Resolution for Test and Control Equipment

verfasst von: V. A. Bardin, V. A. Vasil’ev, P. S. Chernov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 2/2017

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Abstract

The state of development and production of test and control equipment with nano- and microsize resolution is investigated. The results of the development analysis are presented, the classification of piezoactuators and piezomotors of the leading manufacturers is compiled. The most characteristic structures of piezoelectric motors are considered. It is shown that stepped piezoelectric motors satisfy the requirements imposed on the actuators of test and control equipment.
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Metadaten
Titel
Piezoactuators and Piezomotors with Nano- and Micro-Dimensional Resolution for Test and Control Equipment
verfasst von
V. A. Bardin
V. A. Vasil’ev
P. S. Chernov
Publikationsdatum
29.06.2017
Verlag
Springer US
Erschienen in
Measurement Techniques / Ausgabe 2/2017
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI
https://doi.org/10.1007/s11018-017-1168-5

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