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Room Temperature Synthesis of Transparent and Conducting Indium Tin Oxide Films with High Mobility and Figure of Merit by RF-Magnetron Sputtering

Autoren:: Ajinkya Bhorde, Ravindra Waykar, Shruthi Nair, Haribhau Borate, Subhash Pandharkar, Rahul Aher, Ashish Waghmare, Priti Vairale, Dhirsing Naik, Sandesh Jadkar

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Titel: Room Temperature Synthesis of Transparent and Conducting Indium Tin Oxide Films with High Mobility and Figure of Merit by RF-Magnetron Sputtering
Autoren:: Ajinkya Bhorde
Ravindra Waykar
Shruthi Nair
Haribhau Borate
Subhash Pandharkar
Rahul Aher
Ashish Waghmare
Priti Vairale
Dhirsing Naik
Sandesh Jadkar
Publikationsdatum: 19.08.2019
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-019-07533-8
Verlag: Springer US
Zeitschrift: Journal of Electronic Materials
Ausgabe 11/2019
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X