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JOT Journal für Oberflächentechnik
Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik 10/2013

01.09.2013 | Teilereinigung

Sauber und ausgasarm — aber wie?

Hochreine Edelstahloberflächen für höchste Anforderungen

verfasst von: Michael Flämmich, Oliver Posth, Ute Bergner

Erschienen in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Ausgabe 10/2013

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Auszug

Gerade auch bei Edelstahlkomonenten für die Vakuumtechnik ist für eine sichere Prozessführung die Messung der erreichten Reinheit erforderlich. Ein hochempfindliches Verfahren ist das Messen von Adsorbaten an den Oberflächen durch Restgasanalyse im Vakuum. …
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Literatur
[1]
Metadaten
Titel
Sauber und ausgasarm — aber wie?
Hochreine Edelstahloberflächen für höchste Anforderungen
verfasst von
Michael Flämmich
Oliver Posth
Ute Bergner
Publikationsdatum
01.09.2013
Verlag
Springer Fachmedien Wiesbaden
Erschienen in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Ausgabe 10/2013
Print ISSN: 0940-8789
Elektronische ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1365/s35144-013-1032-6

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