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Erschienen in: Technical Physics 6/2020

01.06.2020 | THEORETICAL AND MATHEMATICAL PHYSICS

Sputtered Atom Energy Distribution versus the Interatomic Interaction Law

verfasst von: A. I. Tolmachev, L. Forlano

Erschienen in: Technical Physics | Ausgabe 6/2020

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Abstract

The energy distribution of atoms sputtered by ion bombardment of a solid has been calculated. The theoretical consideration relies on solving a set of two transport equations by the discrete streams method. It has been shown that, when the energy of sputtered atoms is low, their energy distribution is described by a universal function with a single constant. Its value grows with ionic weight and decreases upon passage from Rutherford scattering to hard-sphere interaction.

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Metadaten
Titel
Sputtered Atom Energy Distribution versus the Interatomic Interaction Law
verfasst von
A. I. Tolmachev
L. Forlano
Publikationsdatum
01.06.2020
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Technical Physics / Ausgabe 6/2020
Print ISSN: 1063-7842
Elektronische ISSN: 1090-6525
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063784220060262

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