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Erschienen in:
2020 | OriginalPaper | Buchkapitel
14. Tribologie in der Mikrotechnik
verfasst von : Horst Czichos
Erschienen in: Tribologie-Handbuch
Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden
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Zusammenfassung
Die heutige Technik ist durch einen stetigen Trend zur Miniaturisierung gekennzeichnet. Die Mikrotechnik nutzt Effekte, die erst durch Miniaturisierung möglich werden, z. B. geringere thermische Trägheit, veränderte Volumen/Oberflächen-Relationen. MEMS sind mikro-elektro-mechanische Systeme (Micro Electro-Mechanical Systems) für Bewegungsfunktionen. Da ihre miniaturisierten Bauteile tribologischen Beanspruchungen ausgesetzt sein können, ist die Tribologie von MEMS wichtig für ihre Funktionalität. Es werden die Tribomaterialien und Technologien von MEMS sowie die Beanspruchungsanalyse und die Tribometrie beschrieben.