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Erschienen in:
1998 | OriginalPaper | Buchkapitel
A New Silicon Rate Gyroscope with Decoupled Oscillation Modes
verfasst von : W. Geiger, B. Folkmer, M. Kieninger, J. Merz, H. Förstermann, H. Sandmaier, W. Lang
Erschienen in: Advanced Microsystems for Automotive Applications 98
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Enthalten in: Professional Book Archive
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HSG-IMIT is developing a new silicon rate gyroscope of very small size, low cost, and high performance. The device is called MARS-RR, which means Micromachined Angular Rate Sensor with twoRotary oscillation modes. First prototypes, MARS-RR1 yielded random walk and bias stability as low as 0.27 deg/✓h and 65 deg/h, respectively. The noise equivalent rate (3 σ) corresponds to a resolution of 0.096 deg/s in a 50 Hz bandwidth.