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Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 2/2009

01.02.2009

AFM fabrication and characterization of nanoscale Al2O3 patterns

verfasst von: Zheng Jiao, Haijiao Zhang, Minghong Wu, Huijiao Guo, Jia Wang, Bing Zhao, Guoji Ding

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 2/2009

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Abstract

In this paper the atomic force microscopy (AFM) fabrication of nanoscale Al2O3 patterns were studied. Nanowire, rings, dot array and pattern were fabricated on Si substrates with SiO2 surface layer. The effects of applied voltage and scanning speed on obtained Al2O3 pattern were evaluated and the anodic oxidation mechanism was discussed.
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Metadaten
Titel
AFM fabrication and characterization of nanoscale Al2O3 patterns
verfasst von
Zheng Jiao
Haijiao Zhang
Minghong Wu
Huijiao Guo
Jia Wang
Bing Zhao
Guoji Ding
Publikationsdatum
01.02.2009
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 2/2009
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-008-9678-1

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