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Semiconductors
Erschienen in: Semiconductors 5/2014

01.05.2014 | Semiconductor Structures, Low-Dimensional Systems, and Quantum Phenomena

Anomalous distribution of germanium implanted into a SOI dielectric layer after the annealing of radiation defects

verfasst von: E. L. Pankratov, O. P. Gus’kova, M. N. Drozdov, N. D. Abrosimova, V. M. Vorotyntsev

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 5/2014

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Metadaten
Titel
Anomalous distribution of germanium implanted into a SOI dielectric layer after the annealing of radiation defects
verfasst von
E. L. Pankratov
O. P. Gus’kova
M. N. Drozdov
N. D. Abrosimova
V. M. Vorotyntsev
Publikationsdatum
01.05.2014
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 5/2014
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782614050170

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