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Erschienen in:

2015 | OriginalPaper | Buchkapitel

4. Basic Principle of Plasma Physics

verfasst von : Hartmut Frey, Prof. Dr.

Erschienen in: Handbook of Thin-Film Technology

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Abstract

Thin film technologies are generally based on plasma-supported methods (see Fig. 4.1). Plasma means:

- When in a liquid or a gas the number of free charge carriers is so large that charge carriers affect the physical properties of the medium substantially.

- When electromagnetic interactions between the charged particles take place.

- When the number of positive and negative charge carriers is for each unit of volume equally large in each case; the total quantity can be arbitrary.

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Titel: Basic Principle of Plasma Physics
verfasst von: Hartmut Frey, Prof. Dr.
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Buch: Handbook of Thin-Film Technology
Print ISBN: 978-3-642-05429-7

Electronic ISBN: 978-3-642-05430-3

Copyright-Jahr: 2015
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-05430-3_4

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