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19.04.2017 | PHYSICOCHEMICAL MEASUREMENTS | Ausgabe 11/2017

Measurement Techniques 11/2017

Change in the Chemical Composition of an Analyzed Object During Low-Voltage Electron Probe X-Ray Spectral Microanalysis

Zeitschrift:
Measurement Techniques > Ausgabe 11/2017
Autoren:
A. Yu. Kuzin, V. B. Mityukhlyaev, P. A. Todua, M. N. Filippov
Wichtige Hinweise
Translated from Izmeritel’naya Tekhnika, No. 11, pp. 68–70, November, 2016.
A phenomenological model is proposed for estimating the changes in the composition of a microscopic volume during low-voltage electron probe x-ray spectral microanalysis. The changes are caused by the thermal effect of the electron probe. Equations are derived which relate the metrological characteristics of low-voltage electron probe x-ray microanalysis to the thermodynamic characteristics of the sample and to the experimental conditions. These results make it possible to choose a priori an analysis mode that avoids errors induced by thermal instability of a test object.

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