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Measurement Techniques
Erschienen in: Measurement Techniques 11/2017

19.04.2017 | PHYSICOCHEMICAL MEASUREMENTS

Change in the Chemical Composition of an Analyzed Object During Low-Voltage Electron Probe X-Ray Spectral Microanalysis

verfasst von: A. Yu. Kuzin, V. B. Mityukhlyaev, P. A. Todua, M. N. Filippov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 11/2017

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Abstract

A phenomenological model is proposed for estimating the changes in the composition of a microscopic volume during low-voltage electron probe x-ray spectral microanalysis. The changes are caused by the thermal effect of the electron probe. Equations are derived which relate the metrological characteristics of low-voltage electron probe x-ray microanalysis to the thermodynamic characteristics of the sample and to the experimental conditions. These results make it possible to choose a priori an analysis mode that avoids errors induced by thermal instability of a test object.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Change in the Chemical Composition of an Analyzed Object During Low-Voltage Electron Probe X-Ray Spectral Microanalysis
verfasst von
A. Yu. Kuzin
V. B. Mityukhlyaev
P. A. Todua
M. N. Filippov
Publikationsdatum
19.04.2017
Verlag
Springer US
Erschienen in
Measurement Techniques / Ausgabe 11/2017
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI
https://doi.org/10.1007/s11018-017-1121-7

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