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Erschienen in:
2002 | OriginalPaper | Buchkapitel
Chemical Vapor Deposition of Superconductor and Oxide Films
verfasst von : G. Wahl, J. Arndt, O. Stadel
Erschienen in: Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
Verlag: Springer Netherlands
Enthalten in: Professional Book Archive
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Chemical Vapor Deposition (CVD) of oxides is a very large branch in the field of CVD processes and is always a large part in books about CVD [1].