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Journal of Sol-Gel Science and Technology
Erschienen in: Journal of Sol-Gel Science and Technology 1/2008

01.01.2008 | Original paper

Design and fabrication of single mode rib waveguides using sol–gel derived organic–inorganic hybrid materials

verfasst von: X. Zhang, M. Qian, X. Zeng, Z. Zhao, J. Lasante, P. Plante

Erschienen in: Journal of Sol-Gel Science and Technology | Ausgabe 1/2008

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Abstract

Multi-layer buried rib waveguides were fabricated using sol–gel derived photopatternable organic–inorganic hybrid materials through multi-step spin coating and photolithography. A single mode circular waveguide at 1,550 nm was designed and fabricated using the equivalent refractive index method. Propagation loss in the order of 1.0 dB/cm was measured by cutback method. Waveguide thermal stability and thermo-optic coefficient were investigated using thermogravimetric analysis (TGA) and spectroscopic ellipsometry, respectively. Results suggest that the single mode waveguide can be used to develop thermal optical devices such as thermo-optic switches.
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Metadaten
Titel
Design and fabrication of single mode rib waveguides using sol–gel derived organic–inorganic hybrid materials
verfasst von
X. Zhang
M. Qian
X. Zeng
Z. Zhao
J. Lasante
P. Plante
Publikationsdatum
01.01.2008
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Sol-Gel Science and Technology / Ausgabe 1/2008
Print ISSN: 0928-0707
Elektronische ISSN: 1573-4846
DOI
https://doi.org/10.1007/s10971-007-1635-6

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