1 Introduction
2 Dual stage actuator head
3 Design
Cut-off frequency (kHz) |
σ (μm) | 6σ (μm) |
---|---|---|
0 | 27.87 | 167.22 |
0.5 | 0.44 | 2.64 |
1.0 | 0.18 | 1.08 |
1.5 | 0.1 | 0.6 |
2.0 | 0.06 | 0.36 |
2.5 | 0.05 | 0.3 |
3.0 | 0.04 | 0.24 |
Open Access 01.10.2009 | Technical Paper
Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 10-11/2009
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Cut-off frequency (kHz) |
σ (μm) | 6σ (μm) |
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0 | 27.87 | 167.22 |
0.5 | 0.44 | 2.64 |
1.0 | 0.18 | 1.08 |
1.5 | 0.1 | 0.6 |
2.0 | 0.06 | 0.36 |
2.5 | 0.05 | 0.3 |
3.0 | 0.04 | 0.24 |