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Measurement Techniques
Erschienen in: Measurement Techniques 1/2011

01.04.2011

Design of elastic components of nano- and microelectromechanical systems

verfasst von: E. M. Belozubov, V. A. Vasiliev, A. I. Zapevalin, P. S. Chernov

Erschienen in: Measurement Techniques | Ausgabe 1/2011

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Abstract

The modelling of elastic components of nano- and microelectromechanical systems during design is discussed. A flow chart for these models is proposed for establishing the patterns and relationships among different parameters of these systems and finding an optimum solution.
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Literatur
1.
E. M. Belozubov, V. A. Vasiliev, and N. V. Gromkov, “Thin-film nano- and microelectromechanical systems – the basis of current and future pressure sensors for rocket and aviation engineering,” Izmer. Tekhn., No. 7, 35–38 (2009); Measur. Techn., 52, No. 7, 739–744 (2009).
2.
E. M. Belozubov and N. E. Belozubova, “Thin-film resistive strain gauge pressure sensors – devices for nano- and microsystem technology,” Nano. Mikrosist. Tekhn., No. 12, 49–51 (2007).
3.
L. E. Andreeva, Elastic Components of Instrumentation [in Russian], Mashinostroenie, Moscow (1981).
4.
E. P. Osadchenko (ed.), Design of Sensors for Measuring Mechanical Quantities [in Russian], Mashinostroenie, Moscow (1979).
5.
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6.
E. M. Belozubov, V. A. Vasiliev, and P. S. Chernov, “Simulation of deformation in the membranes of pressure transducers,” Izmer. Tekhn., No. 3, 33–36 (2009); Measur. Techn., 52, No. 3, 271–276 (2009).
7.
E. M. Belozubov, V. A. Vasiliev, and P. S. Chernov, “Simulation of the effect of pressure on the sensitive elements of transducers,” in: Analytic and Numerical Methods for Modelling Natural-Science and Social Problems: Abstr. 2nd Int. Sci. Techn. Conf., PGU, Privolzhskii dom znanii, Penza (2007), pp. 232–235.
8.
V. A. Vasiliev and A. I. Tikhonov, “Analysis and synthesis of measurement circuits for solid-state information converters,” Metrologiya, No. 1, 3–20 (2003).
Metadaten
Titel
Design of elastic components of nano- and microelectromechanical systems
verfasst von
E. M. Belozubov
V. A. Vasiliev
A. I. Zapevalin
P. S. Chernov
Publikationsdatum
01.04.2011
Verlag
Springer US
Erschienen in
Measurement Techniques / Ausgabe 1/2011
Print ISSN: 0543-1972
Elektronische ISSN: 1573-8906
DOI
https://doi.org/10.1007/s11018-011-9679-y

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