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2011 | OriginalPaper | Buchkapitel

Diamond Sensors with Silicon Technologies for Sensing in Harsh Environments

verfasst von : Tom. Sanders, Glenn Hess, Jim Davidson, W. P. Kang, Teng Ooi, Aaron Corder

Erschienen in: Experimental and Applied Mechanics, Volume 6

Verlag: Springer New York

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This paper presents the results of a research program aimed at developing passive and active circuit components to be used in air vehicle applications. The team of Advanced Engineering Technology (AET, Inc.) and Vanderbilt University is developing diamond sensors that will be integrated with a silicon-based integrated circuit for incorporation into air vehicles. Specifically, the team is developing the technology necessary to integrate chemical vapor deposited (CVD) diamond films with the silicon integrated circuit.

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Metadaten
Titel
Diamond Sensors with Silicon Technologies for Sensing in Harsh Environments
verfasst von
Tom. Sanders
Glenn Hess
Jim Davidson
W. P. Kang
Teng Ooi
Aaron Corder
Copyright-Jahr
2011
Verlag
Springer New York
Buch
Experimental and Applied Mechanics, Volume 6

Print ISBN: 978-1-4614-0221-3

Electronic ISBN: 978-1-4614-0222-0

Copyright-Jahr: 2011

DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4614-0222-0_57

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