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Erschienen in: Journal of Electronic Materials 6/2006

01.06.2006

Effects of a-Si:H resist vacuum-lithography processing on HgCdTe

verfasst von: R. N. Jacobs, E. W. Robinson, M. Jaime-Vasquez, A. J. Stoltz, J. Markunas, L. A. Almeida, P. R. Boyd, J. H. Dinan, L. Salamanca-Riba

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 6/2006

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Metadaten
Titel
Effects of a-Si:H resist vacuum-lithography processing on HgCdTe
verfasst von
R. N. Jacobs
E. W. Robinson
M. Jaime-Vasquez
A. J. Stoltz
J. Markunas
L. A. Almeida
P. R. Boyd
J. H. Dinan
L. Salamanca-Riba
Publikationsdatum
01.06.2006
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 6/2006
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-006-0287-6

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