Einführung und Begriffsbestimmung

Für den Begriff »Mikrosystemtechnik« gibt es gegenwärtig noch keine allgemein verbindliche Normung. Entsprechend den drei Wortbestandteilen, aus denen sich dieser Begriff zusammensetzt, wird in diesem Buch folgende Bedeutung zugrundegelegt:Mikro: mindestens eine Dimension der in dieser Technik hergestellten Objekte liegt im Mikrometerbereich (μm = 10−6 m). Dies kann neben der Dicke (→ „Dünnschichttechnologie“) auch für mindestens eine der lateralen Ausdehnungen zutreffen. Daher mussen Bearbeitungsverfahren der sogenannten „Mikrotechnik“ genutzt werden. Zumeist sind die Herstellungsverfahren aus der Mikroelektronik-Fertigung abgeleitet. Die Verkleinerung erlaubt zum Einen, viele Elemente auf kleinstem Raum unterzubringen (Integration), zum Anderen ergeben sich vollkommen neue technische Möglichkeiten und Eigenschaften der miniaturisierten Produkte (z.B. Frequenzverhalten, Trägheit, Energieverbrauch).