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Erschienen in:
Nonlinear Optical Properties of GaAs/(AlGa) As Multiple Quantum Wells Under Quasistationary High Laser Excitation and Transversal Electric Fields Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

1993 | OriginalPaper | Buchkapitel

Fabrication of Microoptic Components by Thermal Imprinting

verfasst von : K.-H. Brenner, C. Doubrava, T. M. Merklein

Erschienen in: Optical Information Technology

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Enthalten in: Professional Book Archive

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3D-microoptic systems can be realized by a thermal imprinting processes in Poly-MethylMethAcrylate (PMMA). Hereby each microoptic component is realized by thermally imprinting a metal master into the substrate. This process, though being simple, provides high quality components and allows a mass production. Experimental results are demonstrated for an interconnection scheme.

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Metadaten
Titel
Fabrication of Microoptic Components by Thermal Imprinting
verfasst von
K.-H. Brenner
C. Doubrava
T. M. Merklein
Copyright-Jahr
1993
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Optical Information Technology

Print ISBN: 978-3-642-78142-1

Electronic ISBN: 978-3-642-78140-7

Copyright-Jahr: 1993

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-78140-7_8

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