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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 2/2014

01.02.2014

Growth of AlN Films as a Function of Temperature on Mo Films Deposited by Different Techniques

verfasst von: Jie Yang, Xiangquan Jiao, Rui Zhang, Hui Zhong, Yu Shi, Bo Du

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 2/2014

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Metadaten
Titel
Growth of AlN Films as a Function of Temperature on Mo Films Deposited by Different Techniques
verfasst von
Jie Yang
Xiangquan Jiao
Rui Zhang
Hui Zhong
Yu Shi
Bo Du
Publikationsdatum
01.02.2014
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 2/2014
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-013-2867-6

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