Grundstrukturen und Anwendungen

Erste mikromechanische Funktionselemente und Komponenten wurden unter Anwendung der Silizium-Halbleitertechnologie bereits Anfang der 60er Jahre entwickelt und gefertigt: 1962 wurden Siliziumwafer als Verformungskörper mit integrierten Piezowiderständen realisiert [Tufte62]. Als kommerziell erfolgreiche Produkte kamen seit Beginn der 70er Jahre Drucksensoren auf den Markt, bei denen Silizium-Membranen mit integrierten Piezowiderständen als mikromechanische Sensorelemente mit bipolaren integrierten Schaltungen verknüpft waren. Breite Anwendung finden inzwischen Beschleunigungssensoren (z. B. in Airbag-Systemen), bei denen die Trägheitskraft einer „seismischen Mikro-Masse“ zur Auslenkung eines mikromechanischen Verformungskörpers führt. Diese Auslenkung ist eine Funktion der Beschleunigung und wird meist kapazitiv oder piezoresistiv detektiert.