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Erschienen in: Frontiers of Mechanical Engineering 2/2021

Open Access 05.03.2021 | Research Article

High-bandwidth nanopositioning via active control of system resonance

verfasst von: Linlin Li, Sumeet S. Aphale, Limin Zhu

Erschienen in: Frontiers of Mechanical Engineering | Ausgabe 2/2021

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Metadaten
Titel
High-bandwidth nanopositioning via active control of system resonance
verfasst von
Linlin Li
Sumeet S. Aphale
Limin Zhu
Publikationsdatum
05.03.2021
Verlag
Higher Education Press
Erschienen in
Frontiers of Mechanical Engineering / Ausgabe 2/2021
Print ISSN: 2095-0233
Elektronische ISSN: 2095-0241
DOI
https://doi.org/10.1007/s11465-020-0619-x

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