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Acoustical Physics
Erschienen in: Acoustical Physics 5/2022

01.10.2022 | PHYSICAL ACOUSTICS

Improvement of Surface Acoustic Wave Delay Lines Using c-Axis Tilted AlScN Thin Film

verfasst von: Fares Kanouni, Farouk Laidoudi, Saad Amara, Khaled Bouamama

Erschienen in: Acoustical Physics | Ausgabe 5/2022

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Abstract

This paper reports the frequency characteristics of SAW-delay line based on c-axis tilted Scandium doped Aluminum Nitride (AlScN) thin film deposited on Sapphire (Al2O3) substrate. The effect of c-axis tilt angle (0°, θ, 90°) on the electromechanical properties and the insertion loss IL of Rayleigh mode in AlScN are respectively evaluated using density functional perturbation theory and Improved Transmission Matrix Approach (ITMA) for different Sc concentrations. A significant enhancement of the IL is observed after incorporation of Sc-dopant, which is accompanied by a shift-down in the SAW operating frequency. Therefore, tilting c-axis of AlScN compensates the frequency loss due to the incorporation of dopants and enhance the SAW delay line characteristics. This founding contributes in overcoming the drawbacks induced by the addition of dopants and helps in the design and realization of high performances SAW delay lines.
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Metadaten
Titel
Improvement of Surface Acoustic Wave Delay Lines Using c-Axis Tilted AlScN Thin Film
verfasst von
Fares Kanouni
Farouk Laidoudi
Saad Amara
Khaled Bouamama
Publikationsdatum
01.10.2022
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Acoustical Physics / Ausgabe 5/2022
Print ISSN: 1063-7710
Elektronische ISSN: 1562-6865
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063771022050141

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