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Journal of Electronic Materials

Erschienen in:

01.12.2015

Laser Drilling and Conducting Film Formation of Vias in Silicon

verfasst von: Hirofumi Hidai, Souta Matsusaka, Akira Chiba, Noboru Morita

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 12/2015

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Titel: Laser Drilling and Conducting Film Formation of Vias in Silicon
verfasst von: Hirofumi Hidai
Souta Matsusaka
Akira Chiba
Noboru Morita
Publikationsdatum: 01.12.2015
Verlag: Springer US
Erschienen in: Journal of Electronic Materials / Ausgabe 12/2015
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI: https://doi.org/10.1007/s11664-015-4097-6