MEMS in der Mikrosystemtechnik

Sie messen den Reifendruck, lösen in Millisekunden Airbags aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Härtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter­ platten platziert werden. Vom Automobil über hoch komplizierte Maschinen bis hin zur klini­ schen Medizin funktioniert kaum mehr etwas ohne mikrosystemtechnische Sensoren. Schon heute sind die ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (abgekürzt: MEMS) aus unserem täglichen Leben nicht mehr wegzudenken. Airbags, ABS- und ESP Systeme, Herz­ schrittmacher und Mobiltelefone sind nur einige Beispiele für Produkte, in denen mikrotech­ nische Produkte eine entscheidende Rolle spielen. In eben dieser enormen Breite des Anwendungsspektrums liegt die besondere Bedeutung dieser Querschnitttechnologie - einer Königsdisziplin der Mechatronik und der Mikrosystem­ technik. Dennoch vollzog sich in den letzten Jahren ein fundamentaler Wandel. Unter dem Oberbegriff der ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (oder MEMS) wird zusehends die Integration von Sensoren und Aktuatoren der Mechatronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik unter Ausnutzung moderner Massenfertigungstechnologien verstanden. Dadurch erschließen sich überaus attraktive Anwendungsmöglichkeiten in den Bereichen Automobilelektronik, der Umwelt-, der Automatisierungs- sowie der Luft- und Raumfahrt­ technik. Hierbei kommt der ,,Mikromechatronik" - der Synthese aus Mikromechanik, Mikro­ elektronik sowie der Informations- und Kommunikationtechnik als kybernetisches System auf einem miniaturisierten Funktionsträger - eine bedeutsame Schrittmacherfunktion zu. Mehr und mehr wird die ,,Mikromechatronik" zur Grundlage für innovative Produkte mit gesteiger­ ter Funktionalität, höherer Zuverlässigkeit und besserer Wirtschaftlichkeit.