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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 10-11/2006

01.09.2006 | Technical Paper

Replication and bonding techniques for integrated microfluidic systems

verfasst von: M. Heckele, A. E. Guber, R. Truckenmüller

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 10-11/2006

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Abstract

From the technical and economic points of view, systems integration, and packaging represent a crucial step in the production of microsystems. Compared to purely silicon- or glass-based systems, the variety of materials and geometries available for purely polymer microfluidic systems is much larger, due to the outstanding material properties. Moreover, polymers may be shaped and joined by comparably simple methods. Examples are polymer microreplication as well as various bonding methods. With them, complete polymer microsystems can be integrated. In addition, a number of established, compatible processes are available for the integration of functional elements that may also be made of other materials.
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Metadaten
Titel
Replication and bonding techniques for integrated microfluidic systems
verfasst von
M. Heckele
A. E. Guber
R. Truckenmüller
Publikationsdatum
01.09.2006
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 10-11/2006
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-006-0158-3

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